日本三菱電機(jī)開(kāi)發(fā)出了輸出功率增至10W的深紫外激光器，并在研發(fā)成果新聞發(fā)布會(huì)上進(jìn)行了展示。這種波長(zhǎng)213nm的深紫外激光器有望在空氣中用于加工玻璃等光學(xué)器件。輸出功率達(dá)到了普通工業(yè)用水平10W，原產(chǎn)品的輸出功率為5.6W�？蓪�(shí)現(xiàn)高速加工所需的10kHz以上的脈沖激光。采用該激光器的加工設(shè)備的投產(chǎn)日期尚未確定，估計(jì)“大約5年后將會(huì)有這種需求”（該公司解說(shuō)員）。由于深紫外激光的波長(zhǎng)短，適合于形成直徑為10～20μm的微孔等微細(xì)加工。除用于玻璃加工外，還可用于印刷電路板的微細(xì)加工。在加工印刷電路板等的樹(shù)脂時(shí)，采用轉(zhuǎn)換為樹(shù)脂可吸收的355nm波長(zhǎng)的激光。


    目前，印刷電路板的打孔加工主要采用CO2激光。但由于這種激光的波長(zhǎng)長(zhǎng)達(dá)10μm，可加工的孔徑最低限度為50μm。此次采用的CLBO晶體由大阪大學(xué)開(kāi)發(fā)。

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