磁控濺射
鍍膜玻璃生產(chǎn)線的原理是，利用
浮法玻璃在高真空狀態(tài)下應(yīng)用離子濺射法沉積金屬和
金屬氧化物到玻璃表面，形成鍍膜玻璃.金屬和金屬氧化物利用光學(xué)衍射原理可生產(chǎn)各種顏色鍍膜玻璃,色彩豐富多彩,膜層牢固.而且具有很好的
隔熱保溫效果.目前我國(guó)大中城市高樓大廈
玻璃幕墻使用的絕大多數(shù)是引進(jìn)德國(guó)或美國(guó)生產(chǎn)線生產(chǎn)的離線鍍膜玻璃。
國(guó)內(nèi)某知名鍍膜玻璃制造商在二十世紀(jì)九十年代引進(jìn)了德國(guó)的大型磁控濺射鍍膜玻璃生產(chǎn)線，生產(chǎn)控制系統(tǒng)采用了Opto22的產(chǎn)品，這個(gè)系統(tǒng)使用一直十分穩(wěn)定，系統(tǒng)硬件極為可靠，很少購(gòu)買備件，為了擴(kuò)大產(chǎn)能，公司決定對(duì)生產(chǎn)線改造，在改造過(guò)程中系統(tǒng)依然采用了Opto22的以太網(wǎng)控制產(chǎn)品。改造的內(nèi)容是對(duì)新增的濺射室實(shí)現(xiàn)控制，在濺射室外通過(guò)循環(huán)冷卻水，當(dāng)條件具備時(shí)，在濺射室內(nèi)通入設(shè)定比例的工藝氣體，通過(guò)控制濺射電源的電源功率和電流，實(shí)現(xiàn)對(duì)浮法玻璃的表面鍍膜。
由于原有系統(tǒng)在MS-DOS操作系統(tǒng)下運(yùn)行，為維持工廠正常生產(chǎn)，暫時(shí)不做改造，但是為了和原有系統(tǒng)相配合，新程序設(shè)計(jì)選擇了多種控制方案，即單個(gè)濺射室控制，多個(gè)濺射室聯(lián)動(dòng)。實(shí)現(xiàn)了靈活的控制。整個(gè)控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了以下功能：
（1）工作模式選擇：可以選擇單機(jī)控制，聯(lián)機(jī)控制
（2）工藝配方選擇：可以設(shè)置工藝氣體的多個(gè)配方，在滿足不同生產(chǎn)要求時(shí)候可以靈活調(diào)用各種配方。
（3）參數(shù)實(shí)時(shí)顯示：可以集中顯示各個(gè)濺射室的濺射電源功率，電流，電壓，工藝氣體質(zhì)量流量，循環(huán)冷卻水閥門狀態(tài)等。
（4）報(bào)警記錄：系統(tǒng)可以對(duì)濺射電源的電流偏差報(bào)警，工藝氣體質(zhì)量流量偏差報(bào)警，循環(huán)冷卻水?dāng)嗔鳡顟B(tài)報(bào)警，通訊故障報(bào)警。出現(xiàn)報(bào)警時(shí)候彈出告警窗口并聲光報(bào)警，生成報(bào)警日志文件記錄。
（5）實(shí)時(shí)及歷史趨勢(shì)記錄：可以記錄系統(tǒng)關(guān)鍵參數(shù)，如濺射電源電流，功率，工藝氣體質(zhì)量流量等，記錄周期可以靈活調(diào)整；
通過(guò)技術(shù)改造，工廠提高了產(chǎn)能，控制系統(tǒng)運(yùn)行也一如原有OPTO22系統(tǒng)一樣的穩(wěn)定可靠。
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