透明導(dǎo)電膜(TCO)目前最主要的應(yīng)用是ITO膜,還有其他AZO等。
　 　 透明導(dǎo)電膜(TCO)在太陽能電池上主要用作電池的透明電極, 有些還可同時作為減反射膜。不同透明導(dǎo)電膜的電學(xué)、光學(xué)以及結(jié)構(gòu)等都不相同, 亦對太陽能電池的光電特性和輸出特性( 如電池的內(nèi)外量子效率、短路電流、開路電壓、填充因子等) 產(chǎn)生不同的影響。一般, 在太陽能電池中對透明導(dǎo)電膜的要求是載流子濃度高、帶隙寬度大、光電特性好、化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定、較低的電阻率、機械強度高以及優(yōu)良的耐磨損性等。
　 　 ITO 薄膜是一種半導(dǎo)體透明薄膜, 它是氧化銦錫( indium t in ox ide) 英文名稱的縮寫。有學(xué)者將氧化銦系列( In2O 22SnO 2) 也稱之為ITO 薄膜。作為透明導(dǎo)電電極, 要求ITO 薄膜有良好的透明性和導(dǎo)電性。所以, 此類材料的禁帶寬度E g 一般都大于3 eV , 其摻雜組分要偏離化學(xué)計量比。ITO 薄膜的制備方法有蒸發(fā)、濺射、反應(yīng)離子鍍、化學(xué)汽相沉積、熱解噴涂等, 但使用最多的是反應(yīng)磁控濺射法[ 1, 2 ]。與其它透明導(dǎo)電薄膜相比, ITO 薄膜具有良好的化學(xué)穩(wěn)定性、熱穩(wěn)定性以及良好的圖形加工特性。
　 　 我們發(fā)現(xiàn)經(jīng)過銫化處理的ITO 薄膜具有光電發(fā)射效應(yīng)。其光電發(fā)射穩(wěn)定, 有1. 71 ua/lm 的積分靈敏度, 壽命達千小時以上。這種ITO 薄膜的光電發(fā)射對于研制大面積的光電器件、平板顯示器件會有較大的促進作用。